特許

J-GLOBAL ID：200903015476077560

超微粒子分散膜の粒径制御成膜方法

発明者： 伊藤 岳彦
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 坂間 暁 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-169853
公開番号（公開出願番号）：特開平5-017874
出願日： 1991年07月10日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：

【要約】【目的】 分散膜を形成する超微粒子の粒径を制御することができる成膜方法を実現する。【構成】 予め超微粒子の粒径と膜厚計の表示膜厚との間の関係を求め、膜厚計が所定の表示膜厚を示すまで、蒸発源3から蒸発した薄膜原料を基板2面に蒸着させ、所定の粒径の超微粒子よりなる分散膜を形成させるものとすることにより、超微粒子の粒径をコントロールすることができ、再現性のよい超微粒子分散膜の成膜方法を実現する。

請求項（抜粋）：

基板と蒸発源が内部に設けられた真空容器中の上記基板の近傍に膜厚計の測定子を配設し、予め膜厚計の表示膜厚と基板表面に蒸着される薄膜原料の粒径との関係を求めた後、基板に形成される分散膜の膜厚を上記膜厚計により測定しながら蒸発源から薄膜原料を蒸発させ、上記予め求めた膜厚計の表示膜厚と薄膜原料の粒径との関係より所定の粒径に対応した表示膜厚となるまで薄膜原料を基板に蒸着させることを特徴とする超微粒子分散膜の粒径制御成膜方法。