異種材料複合体およびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-344286
公開番号（公開出願番号）：特開2005-104810
出願日： 2003年10月02日
公開日（公表日）： 2005年04月21日
要約：

【課題】一方が多結晶体で他方が単結晶体から成る2種の材料が互いの面を接して接合されて成る異種複合体を提供する【解決手段】多結晶体の接合面には金属膜が形成され、単結晶の接触面には予めイオン照射を行うことにより清浄な表面を形成してのち、真空中で常温または300°C以下の加熱雰囲気中で2種の材料を5MPa未満の圧力を印加させることで加圧しながら接触させることで、2種の基板を接合し、単結晶体との界面には厚みが15nm以下の非晶質層が形成されている異種材料複合体とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

一方が多結晶体で他方が単結晶体である2種の材料が互いの面を接して接合されて成る複合体であって、前記多結晶体の接合面には金属の薄膜層が形成されており、前記単結晶体との界面に単結晶体を構成する元素又は前記金属膜を構成する元素を含む非晶質層が形成されて成ることを特徴とする異種材料複合体。

IPC (4件)：

C04B37/02 , C30B33/06 , H01L41/187 , H01L41/22

FI (4件)：

C04B37/02 B , C30B33/06 , H01L41/18 101D , H01L41/22 Z

Fターム (36件)：

4G026BA01 , 4G026BA02 , 4G026BA03 , 4G026BA05 , 4G026BA08 , 4G026BA16 , 4G026BA17 , 4G026BB35 , 4G026BC01 , 4G026BC02 , 4G026BD01 , 4G026BD02 , 4G026BD04 , 4G026BD06 , 4G026BD08 , 4G026BD12 , 4G026BE04 , 4G026BF31 , 4G026BF33 , 4G026BF34 , 4G026BF35 , 4G026BF36 , 4G026BF46 , 4G026BG01 , 4G026BG03 , 4G026BG04 , 4G026BG06 , 4G026BG23 , 4G026BH06 , 4G026BH07 , 4G026BH09 , 4G077AA02 , 4G077BA04 , 4G077BE05 , 4G077BE46 , 4G077FF02

引用特許：

出願人引用 (1件)

特許第2791429号公報(第1頁)

審査官引用 (1件)

特開昭62-070271

前のページに戻る