面発光レーザとその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-037692
公開番号（公開出願番号）：特開平6-252504
出願日： 1993年02月26日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】【目的】低電流域で、自然放出光を効率良く出力できる面発光レーザを提供する。【構成】半導体壁10を周期的に配置する事によって、横方向DBR反射鏡12を形成する。この横方向DBR反射鏡12によって、横方向のレーザ内部光13を効率良く閉じ込める事が出来る。また、横方向の光に対して、非共鳴状態にした場合には、横方向の自然放出光の発光が抑制される。従って、横方向のみに、自然放出光を効率良く取り出す事が出来る。また、従来の誘電体膜の成膜に代えて垂直ドライエッチングを用いると、横方向DBR反射鏡12を制御性良くできるため、反射鏡の高い横方向DBR反射鏡12が実現できる。

請求項（抜粋）：

半導体基板上に形成された第1DBR反射膜と、この第1DBR反射膜上に形成されたPN接合と活性層を含む多層構造と、前記多層構造上に形成された第2DBR反射膜と、前記第1DBR反射膜と前記多層構造と前記第2DBR反射膜からなる半導体柱と、この半導体柱を横方向を囲むように形成された少なくとも1つの半導体壁とを備え、前記活性層から出射する光の媒質内波長をλとするとき、前記半導体壁の厚み、前記半導体柱と前記半導体壁の間の間隔がそれぞれほぼλ/4+(λ/2の整数倍)となっており、前記半導体壁が2つ以上ある場合には、その間隔がほぼλ/4+(λ/2の整数倍)となっていることを特徴とする面発光レーザ。

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