特許
J-GLOBAL ID：200903015488555840
有機材料用蒸発源及びこれを用いた有機薄膜形成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石島 茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-013352
公開番号（公開出願番号）：特開平10-195639
出願日： 1997年01月09日
公開日（公表日）： 1998年07月28日
要約：
【要約】【課題】主材料に対する添加材料の蒸発速度を所定の微少な速度に正確に制御して有機薄膜を成膜する。【解決手段】本発明の有機薄膜形成装置1は、主材料用蒸発源3Aと、添加物用蒸発源3Bとを有する。添加材料用蒸発源3Bは、添加材料36を収容する蒸発用容器33を備える。蒸発用容器33は、添加材料36を収容する有底中空円筒形状の第1のるつぼ31と、容器本体31より径の小さい有底中空筒円形状の第2のるつぼ32とを有する。第2のるつぼ32の底部32Aにオリフィス部としての孔部32aが設けられ、第1のるつぼ31内に第2のるつぼ32を挿入固定して蒸発室33Aが形成される。第2のるつぼ32の底部32Aは第1のるつぼ31内の添加材料36に近接する位置まで挿入される。
請求項（抜粋）：
有機蒸発材料を収容する蒸発用容器を備え、該蒸発用容器に収容された有機蒸発材料を蒸発させ、真空槽内において基体上に有機化合物の蒸着膜を形成するための有機材料用蒸発源であって、上記蒸発用容器に、上記有機蒸発材料の蒸発量を規制するオリフィス部を設けたことを特徴とする有機材料用蒸発源。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/12
, C23C 14/24 A
