特許
J-GLOBAL ID：200903015497459519
試料ホルダ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田中 隆秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-294580
公開番号（公開出願番号）：特開平11-135050
出願日： 1997年10月27日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：
【要約】【課題】 試料ステージの中心と試料ホルダの中心とがずれていても試料ホルダに保持する試料上の観察位置が精度よく位置決めできるようすること。【解決手段】 試料ステージST上面のホルダ装着部材に装着される被装着部3を有する被装着部材2と、前記被装着部3に回転自在に支持されて上面に試料Sを載置する試料載置面8gが設けられた試料載置部8bと、試料載置部8bを軸回りに回転させる回転力が伝達される回転力被伝達部11とを有する回転部材8と、回転部材8を回転駆動する回転部材駆動装置Dと、前記試料ステージST上のステージ側コネクタCsと接続または前記ステージ側コネクタCsから離脱するホルダ側コネクタChと、回転部材駆動装置Dに回転駆動用の電力を給電する回転駆動電力接続端子を有する前記ステージ側コネクタCsおよび前記ホルダ側コネクタChとから構成される試料ホルダ。
請求項（抜粋）：
下記の要件を備えたことを特徴とする試料ホルダ、(A01)上面にステージ側コネクタおよびホルダ装着部材が設けられた試料ステージの前記ホルダ装着部材に装着される被装着部と、試料交換棒に連結される交換棒連結部とを有する被装着部材、(A02)前記被装着部材に回転自在に支持されて上面に試料を載置する試料載置面が設けられた試料載置部と、前記試料載置部を軸回りに回転させる回転力が伝達される回転力被伝達部とを有する回転部材、(A03)前記被装着部材に支持されて、前記回転部材を回転駆動する回転部材駆動装置、(A04)前記試料ステージの上面に沿って前記試料ステージのホルダ装着部材に前記被装着部材の被装着部が装着されたときに前記試料ステージのステージ側コネクタと接続し、前記ホルダ装着部材から前記被装着部が離脱したときに前記ステージ側コネクタから離脱するホルダ側コネクタ、(A05)前記回転部材駆動装置に回転駆動用の電力を給電する回転駆動電力接続端子を有する前記ステージ側コネクタおよび前記ホルダ側コネクタ。
FI (2件)：
H01J 37/20 D
, H01J 37/20 C
