特許
J-GLOBAL ID：200903015497910512
紫外線レーザ用光学装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-222971
公開番号（公開出願番号）：特開平11-054852
出願日： 1997年08月06日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】 装置のランニングコストを低減する紫外線レーザ用光学装置を提供する。【解決手段】 紫外線レーザ用光学装置は、ほぼ密閉された窒素チャンバー4の内部に配置された光学系と、チャンバー4の外部に配置されたレーザ光源1と、該レーザ光源1から発振される紫外線レーザビーム35をチャンバー4の内部に入射する紫外線を透過する部材からなる入射用窓6と、入射用窓6における紫外線レーザビーム35が照射される部分を光軸に対して相対的に移動させる移動手段と、を具備する。また、入射用窓6が紫外線レーザビーム35の光軸に垂直な面に対して僅かに傾けて配置されており、入射用窓6の表面で反射する反射紫外線レーザビーム36のエネルギー量を検出するエネルギーモニター5を有する。従って、装置のランニングコストを低減できる。
請求項（抜粋）：
ほぼ密閉された構造体の内部に配置された光学系と、該構造体の外部に配置されたレーザ光源と、該レーザ光源から発振される紫外線レーザビームを該構造体の内部に入射する紫外線を透過する部材からなる窓であって、該紫外線レーザビームの光軸に垂直な面に対して僅かに傾けて該構造体に設けられた窓と、該窓の表面で反射する反射紫外線レーザビームのエネルギー量を検出する反射エネルギー検出手段と、を具備することを特徴とする紫外線レーザ用光学装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/223 E
, H01S 3/139
