特許

J-GLOBAL ID：200903015500602034

原子間力顕微鏡ユニット

発明者： 佐藤 健一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-188449
公開番号（公開出願番号）：特開平8-054404
出願日： 1994年08月10日
公開日（公表日）： 1996年02月27日
要約：

【要約】【構成】 市販の光学顕微鏡のサブステージ103に、AFMユニット1を取付け可能とする。AFMユニット1は、カンチレバー6へ光を当てる入射光学系9,10,11を水平方向に移動可能とする。カンチレバー6は脱着自在とする。光学顕微鏡により観察を行う際には、入射光学系9,10,11を光学顕微鏡の光軸Arからずらした場所に位置させる。AFMユニット1による観察を行う際には、カンチレバー6を備えたカンチレバーホルダ7をセットするとともに、入射光学系9,10,11を光学顕微鏡の光軸Ar上に移動させる。そして、この状態で観察を行う。【効果】 ユーザは既に保有している光学顕微鏡を利用してAFMを使用することができる。AFMユニットには、観察位置を確認するための光学系が不要であるため低コスト化が可能。

請求項（抜粋）：

試料の表面を走査する探針を備えたカンチレバーと、上記カンチレバーに光を照射する光照射手段と、上記光照射手段が上記カンチレバーに照射した光の反射光を検出する検出手段と、を備え、上記光照射手段は、上記カンチレバーの真上から上記カンチレバーへ光を照射する光学部材を含んで構成され、上記光学部材および上記カンチレバーは、少なくとも水平面内における位置を変更可能に構成されていること、を特徴とする原子間力顕微鏡ユニット。

IPC (4件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  G01B 21/30 102 ,  H01J 37/28