特許
J-GLOBAL ID:200903015500940240

画像検出器及びかかる画像検出器を製造する方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊東 忠彦 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-187147
公開番号(公開出願番号):特開平8-051195
出願日: 1992年07月14日
公開日(公表日): 1996年02月20日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】 金属化レベルの数を減少させ、テストが容易で、寄生容量が小さく、低レベル光に感度を有する画像検出器を少ない工程で製作する。【構成】 画像検出器100は、第1の電極21が第2の電極22よりも基板1により近い構造の光感知素子20の配列2と、第1及び第2の主電極31,32及び制御電極33を有する複数のスイッチング素子とを画成するようパターン化した異なる材料の一連の層を保持する基板1よりなり、各スイッチング素子30の第2の主電極32は光感知素子20の第2の電極22に接続され、光感知素子20の第1の電極21は共通線に接続されている。各光感知素子20の第1の電極21は第2の電極22の周囲22aを越えて横方向に延在するように第2の電極22より領域が大きい。また各光感知素子20の第1の電極21は協働するスイッチング素子30の電極31又は33の1つと同じ層から形成される。
請求項(抜粋):
第1の電極が第2の電極基板により近い第1及び第2の対向する電極を各々有する光感知素子の配列と、第1及び第2の主電極及び制御電極を各々有する複数のスイッチング素子とを画成するようパターン化された異なる材料の一連の層を保持する基板よりなり、各スイッチング素子の第2の主電極は光感知素子の関連した1つの第2の電極に接続され、光感知素子の第1の電極は共通線に接続された画像検出器であって、各光感知素子は、第1の電極が第2の電極の周囲を越えて横方向に延在するようその第2の電極より領域が大きい第1の電極を有し、各光感知素子の第1の電極は協働するスイッチング素子の電極の1つと同じ層から形成されることを特徴とする画像検出器。
IPC (2件):
H01L 27/146 ,  H01L 29/786
FI (2件):
H01L 27/14 C ,  H01L 29/78 613 Z

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