特許

J-GLOBAL ID：200903015504401963

エッチング深さ測定装置

発明者： 津村 明 ,  山田 渉
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-222543
公開番号（公開出願番号）：特開平9-129619
出願日： 1996年08月23日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】【課題】本発明は、エッチング深さが深くなって反射回折光が減衰しても正確にエッチング深さを測定する。【解決手段】トレンチ3からの反射回折光の強度が減衰すると、シリコンウエハ1からの反射回折光Qを光検出器22により検出し、この反射回折光Qのうちマスク2からの反射回折光の周波数成分を除去したトレンチ3からの反射回折光の強度Iからエッチングレート算出部32においてエッチング時間tの経過に対するエッチングレートERを算出し、これらエッチングレートERの変化をエッチングレート変化関数算出部33において関数ER(t) として求め、このエッチングレート変化関数ER(t) に基づいて深さ算出部34においてエッチング深さD(t) を求める。

請求項（抜粋）：

コヒーレント光を被処理体に照射し、この被処理体からの反射回折光の強度を検出して前記被処理体のエッチング深さを測定するエッチング深さ測定装置において、エッチング時間の経過に従って前記反射回折光の強度から単位時間当りのエッチング量を算出するエッチングレート算出手段と、このエッチングレート算出手段により算出された単位時間当りの各エッチング量の変化を関数として求めるエッチング関数算出手段と、このエッチング関数算出手段により求められたエッチングレート変化関数に基づいて前記エッチング深さを求める深さ算出手段と、を具備したことを特徴とするエッチング深さ測定装置。

IPC (2件)：

H01L 21/3065 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

H01L 21/302 E ,  H01L 21/66 P