特許
J-GLOBAL ID：200903015509078460
光学部材の保持装置、照明光学装置、露光装置および露光方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-208652
公開番号（公開出願番号）：特開2004-146792
出願日： 2003年08月25日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：
【課題】光軸に沿って互いに近接して位置決めすべき一対の光学部材を安定的に且つ精度良く保持することのできる保持装置。【解決手段】光軸に沿って互いに近接して位置決めされる第1光学部材(8a)と第2光学部材(8b)とを保持する保持装置。第1光学部材を保持するための第1ホルダー(31)と、第2光学部材を保持するための第2ホルダー(32)とを備えている。第1ホルダーは、光軸方向に関して第2光学部材と重なり合わない部分を介して第1光学部材を保持し、第2ホルダーは、光軸方向に関して第1光学部材と重なり合わない部分を介して第2光学部材を保持している。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光軸に沿って互いに近接して位置決めされる第1光学部材と第2光学部材とを保持する保持装置において、
前記第1光学部材を保持するための第1ホルダーと、前記第2光学部材を保持するための第2ホルダーとを備え、
前記第1ホルダーは、光軸方向に関して前記第2光学部材と重なり合わない部分を介して前記第1光学部材を保持し、
前記第2ホルダーは、光軸方向に関して前記第1光学部材と重なり合わない部分を介して前記第2光学部材を保持していることを特徴とする保持装置。
IPC (3件)：
H01L21/027
, G02B7/00
, G03F7/20
H01L21/30 515D
, G02B7/00 E
, G03F7/20 521
