特許

J-GLOBAL ID：200903015523806540

インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置

発明者： 島田 勝人
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-228645
公開番号（公開出願番号）：特開2002-036547
出願日： 2000年07月28日
公開日（公表日）： 2002年02月05日
要約：

【要約】【課題】 クロストークを防止して圧力発生室を高密度に配設可能なインクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置を提供する。【解決手段】ノズル開口21に連通する圧力発生室12が複数の隔壁11によって画成される流路形成基板10と、前記圧力発生室12の一部を構成する振動板50を介して前記圧力発生室12に対応する領域に設けられて前記圧力発生室12内に圧力変化を生じさせる圧電素子300とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、シリコン単結晶基板からなる前記流路形成基板10上の前記圧電素子300側に、ホウ珪酸ガラスからなる接合基板100を接着剤を介さず接合する。

請求項（抜粋）：

ノズル開口に連通する圧力発生室が複数の隔壁によって画成される流路形成基板と、前記圧力発生室の一部を構成する振動板を介して前記圧力発生室に対応する領域に設けられて前記圧力発生室内に圧力変化を生じさせる圧電素子とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記流路形成基板がシリコン単結晶基板で形成されていると共に当該流路形成基板上の前記圧電素子側には、ホウ珪酸ガラスからなる接合基板が接着剤を介さず接合されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (28件)：

2C057AF40 ,  2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG39 ,  2C057AG44 ,  2C057AG55 ,  2C057AG75 ,  2C057AG85 ,  2C057AG93 ,  2C057AN01 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP22 ,  2C057AP25 ,  2C057AP28 ,  2C057AP31 ,  2C057AP34 ,  2C057AP52 ,  2C057AP53 ,  2C057AP56 ,  2C057AP57 ,  2C057AP79 ,  2C057AQ02 ,  2C057AQ06 ,  2C057AQ10 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14