特許
J-GLOBAL ID：200903015540133185
超純水製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本多 小平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-177177
公開番号（公開出願番号）：特開平6-015264
出願日： 1992年07月03日
公開日（公表日）： 1994年01月25日
要約：
【要約】【目的】 サブシステムを一時中断することなく循環を維持し、サブシステムのカートリッジポリッシャの交換を可能とする超純水製造装置を提供することを目的とする。【構成】 2つのカートリッジポリッシャ8A、8Bを交互運転可能とし、第2のカートリッジポリッシャ8Bを交換する場合、膜処理装置9のブロー水を分岐ライン13Aを通して第1のカートリッジポリッシャ8Aに通し、洗浄排水を洗浄排水ライン14を通してRO装置3の前段で回収する。そして、第1のカートリッジポリッシャ8Aの洗浄通水工程の終了後、第1のカートリッジポリッシャ8Aに採水通水を切換える。
請求項（抜粋）：
原水の1次処理により純水を製造する1次系システムと、該1次系システムにより製造された純水を処理して超純水を製造する循環系をなす2次系システムとから構成し、該2次系システムは、複数のカートリッジポリッシャを交互運転可能とするイオン交換装置と、該イオン交換装置で処理された処理水をさらに処理する膜処理装置と、該膜処理装置の非透過水を洗浄水として前記各イオン交換装置に夫々選択的に通水し、洗浄排水を1次系システムで回収するようにした洗浄配管系とから構成したことを特徴とする超純水製造装置。
IPC (3件)：
C02F 1/42
, B01D 61/08
, C02F 1/44
