特許

J-GLOBAL ID：200903015545235067

ビーム成形方法及び該方法を用いたレーザ加工装置

発明者： 首藤 和正
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-226896
公開番号（公開出願番号）：特開2008-049361
出願日： 2006年08月23日
公開日（公表日）： 2008年03月06日
要約：

【課題】所定形状において均一なビームプロファイルを有するレーザビームを成形し、また成形されたレーザビームを用いて、加工対象物への高精度なレーザ加工を実現する。【解決手段】円形のレーザビームを所定形状に成形するためのビーム成形方法において、円形のレーザビームから楕円形状のレーザビームを成形する楕円形状成形ステップと、楕円形状成形ステップにより得られる楕円形状のレーザビームを分岐させる分岐ステップと、分岐ステップにより得られる各楕円形状の角度が異なるように、少なくとも1つの楕円形状のレーザビームを回転させる回転ステップと、回転ステップにより得られる楕円形状のレーザビームを合成させる合成ステップと、合成ステップにより得られる合成されたレーザビームをマスク機構に通過させ、所定形状のレーザビームを切り出す切出ステップとを有する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

円形のレーザビームを所定形状に成形するためのビーム成形方法において、 前記円形のレーザビームから楕円形状のレーザビームを成形する楕円形状成形ステップと、 前記楕円形状成形ステップにより得られる楕円形状のレーザビームを分岐させる分岐ステップと、 前記分岐ステップにより得られる各楕円形状の角度が異なるように、少なくとも1つの楕円形状のレーザビームを回転させる回転ステップと、 前記回転ステップにより得られる楕円形状のレーザビームを合成させる合成ステップと、 前記合成ステップにより得られる合成されたレーザビームをマスク機構に通過させ、所定形状のレーザビームを切り出す切出ステップとを有することを特徴とするビーム成形方法。

IPC (3件)：

B23K 26/073 ,  B23K 26/06 ,  G02B 27/09

FI (3件)：

B23K26/073 ,  B23K26/06 Z ,  G02B27/00 E

Fターム (8件)：

4E068CB08 ,  4E068CD02 ,  4E068CD03 ,  4E068CD05 ,  4E068CD10 ,  4E068CD11 ,  4E068CD13 ,  4E068CE03

引用特許：

出願人引用 (1件)

• レーザ加工機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-357790   出願人：住友重機械工業株式会社