フォトマスク用ガラスの欠陥修復方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-353053
公開番号（公開出願番号）：特開平10-239828
出願日： 1997年12月22日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：

【要約】【課題】フォトマスク用ガラスの微小欠陥を修復し、しかも紫外線を用いる場合にも使用可能であり、良品率を向上させ、コストを削減できるフォトマスク用ガラスの欠陥修復方法の提供。【解決手段】フォトマスク用ガラスの欠陥修復方法であって、フォトマスク用ガラス上又はフォトマスク用ガラス内に存在する微小な欠陥を除去した後に、前記欠陥が存在した位置にガラス小片と液状硬化性樹脂を充填することを特徴とするフォトマスク用ガラスの欠陥修復方法。

請求項（抜粋）：

フォトマスク用ガラスの欠陥修復方法であって、フォトマスク用ガラス上又はフォトマスク用ガラス内に存在する微小な欠陥を除去した後に、前記欠陥が存在した位置にガラス小片と液状硬化性樹脂を充填することを特徴とするフォトマスク用ガラスの欠陥修復方法。

IPC (2件)：

G03F 1/08 , H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 1/08 T , H01L 21/30 502 P , H01L 21/30 502 W

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