特許
J-GLOBAL ID：200903015559253513
光励起振動子センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-267589
公開番号（公開出願番号）：特開平6-117913
出願日： 1992年10月06日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】 小型で安価、かつ使い易い光励起振動子センサを提供する。【構成】 光励起振動子センサは、基板7に垂直に立った振動子3と、振動子3に光ビームを照射し、その反射光と内部光の干渉による光出力から振動子3の固有振動数を検出する、フォトダイオード4が付いた半導体レーザ1とがGaAs基板である同一基板7上に一体化されている。
請求項（抜粋）：
基板に垂直に立った振動子と、該振動子に光ビームを照射し、その反射光と内部光の干渉による光出力から前記振動子の固有振動数を検出するフォトダイオード付き半導体レーザとが同一基板上に一体化された光励起振動子センサ。
IPC (2件)：
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