特許
J-GLOBAL ID：200903015559514937
基板保持チャック洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小谷 悦司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-061466
公開番号（公開出願番号）：特開平11-260887
出願日： 1998年03月12日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：
【要約】【課題】 使用処理液量が大幅に削減可能であると共に、乾燥時にも周囲への水滴などの吹き飛びがなくパーティクルの発生を防止する。【解決手段】 基板保持部22a,22b,23a,23bの形状にそれぞれ応じた両収納凹部27a,27b,28a,28bがそれぞれ基板保持部22a,22b,23a,23bをそれぞれ挟み込んで両収納凹部27a,27b,28a,28b内に隙間を有した状態で収納してここに洗浄用の処理液や乾燥用の処理流体を通して洗浄および乾燥処理を行う。このため、洗浄チャンバ26a,26bおよび洗浄チャンバ35a,35bを小型化できて洗浄時の使用処理液(薬液や純水など)量および乾燥時の処理流体(窒素ガスやIPAベーパなど)量を大幅に削減できる。また、基板保持部22a,22b,23a,23bをそれぞれ両収納凹部27a,27b,28a,28b内にそれぞれ収容するので洗浄用の液体や乾燥用の流体が周囲に漏れない。
請求項（抜粋）：
平行して配設された少なくとも一対の基板保持部にそれぞれ複数の保持溝部が設けられ、複数の基板の縁を前記複数の保持溝部で支持させて、前記複数の基板を一括して保持する基板保持チャックを洗浄する基板保持チャック洗浄装置において、前記基板保持チャックの基板保持部の形状に対応した収納凹部を有し、前記基板保持部を両側から挟み込んで前記両収納凹部内に隙間を有した状態で、前記基板保持チャックを収納し、収納凹部内に対して洗浄用の処理液さらに乾燥用の処理流体を供給すると共に前記収納凹部内から前記処理液および処理流体をそれぞれ排出する流通経路が設けられたことを特徴とする基板保持チャック洗浄装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1333 500
, H01L 21/304 648
H01L 21/68 A
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1333 500
, H01L 21/304 648 B
