特許

J-GLOBAL ID：200903015560952662

加工装置および方法

発明者： 高野 伸
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-095456
公開番号（公開出願番号）：特開2000-293219
出願日： 1999年04月01日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：

【要約】【課題】 有効なログ情報の喪失を防止し、また、有効なログ情報の取得を容易にする。【解決手段】 被加工物に対して所定の加工を施す加工手段49と、この加工手段の動作または制御に際して発生する事象のログ情報を記録するログ手段43、46、47とを備えた加工装置において、第1の事象の発生に基づいてそのログ情報が1件のログ情報としてログ手段により記録されている場合においてそれと同種の第2の事象が発生したとき、ログ手段は、第2事象の発生時刻が第1事象の発生時刻から所定の時間が経過していない場合は、第2事象についてのログ情報を新たな1件のログ情報として記録しないようにする。あるいは、ログ手段は、ログ情報を記録すべき事象が発生した場合、その事象の種類について設定された所定の時間内の過去に発生した事象についてのログ情報をログファイルから抽出し、抽出したログ情報を別ファイルとして保存する。

請求項（抜粋）：

被加工物に対して所定の加工を施す加工手段と、この加工手段の動作または制御に際して発生する事象のログ情報を記録するログ手段とを備えた加工装置において、第1の事象の発生に基づいてそのログ情報が1件のログ情報として前記ログ手段により記録されている場合においてそれと同種の第2の事象が発生したとき、この第2事象のログ情報を新たな1件のログ情報として前記ログ手段が記録することができるために必要な前記第1事象の発生時からの経過時間を前記第1事象の種類について設定する手段を具備することを特徴とする加工装置。

IPC (4件)：

G05B 23/02 ,  G05B 19/18 ,  G06F 11/34 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G05B 23/02 V ,  G06F 11/34 C ,  G05B 19/18 W ,  H01L 21/30 502 G

Fターム (36件)：

5B042GB07 ,  5B042LA08 ,  5B042MA08 ,  5B042MA18 ,  5B042MC35 ,  5B042MC40 ,  5F046AA21 ,  5F046AA22 ,  5F046AA28 ,  5F046BA03 ,  5F046CD01 ,  5F046CD02 ,  5F046DD01 ,  5F046DD06 ,  5H223AA05 ,  5H223CC08 ,  5H223DD03 ,  5H223EE06 ,  5H223EE30 ,  5H223FF08 ,  5H269AB17 ,  5H269BB07 ,  5H269BB11 ,  5H269EE11 ,  5H269KK03 ,  5H269NN08 ,  5H269QB15 ,  5H269QC01 ,  5H269QC02 ,  5H269QC03 ,  5H269QD02 ,  5H269QE12 ,  9A001HH33 ,  9A001HH34 ,  9A001JJ61 ,  9A001LL05