特許

J-GLOBAL ID：200903015564958282

吸着保持部材及び吸着保持装置

発明者： 柴田 浩匡
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-350658
公開番号（公開出願番号）：特開2004-186355
出願日： 2002年12月03日
公開日（公表日）： 2004年07月02日
要約：

【課題】真空吸着時等において保持対象物の表面に付着する微小パーティクルの量を低減させる。【解決手段】吸着保持部材10は、内部に真空管路12を有し、この真空管路12を介して外気が吸引されたときに、外表面に形成された真空管路12の開口部(孔22及び接触部24)において保持対象物であるウエハWを真空吸着する。この吸着保持部材10における真空管路12の内表面には静電気拡散性被膜若しくは静電気導電性被膜が形成される。吸着保持装置は、真空源と、真空源と繋がる管路を内部に有した真空配管部材と、真空配管部材の管路と繋がる真空管路が内部に形成された上記吸着保持部材10とを備えて構成される。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

本体部と、前記本体部の内部に形成された管路と、前記本体部の表面に形成され前記管路と繋がる開口部とを有し,前記管路を介して保持対象物を前記開口部に真空吸着する吸着保持部材において、 前記管路の内表面に静電気拡散性被膜若しくは静電気導電性被膜が形成されたことを特徴とする吸着保持部材。

IPC (3件)：

H01L21/68 ,  B25J15/06 ,  B65G49/07

FI (4件)：

H01L21/68 B ,  H01L21/68 P ,  B25J15/06 D ,  B65G49/07 G

Fターム (23件)：

3C007AS24 ,  3C007AS25 ,  3C007BS15 ,  3C007CT04 ,  3C007CV07 ,  3C007CW07 ,  3C007CY03 ,  3C007CY27 ,  3C007DS01 ,  3C007FS01 ,  3C007FT10 ,  3C007FT11 ,  3C007FU08 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA08 ,  5F031GA35 ,  5F031GA43 ,  5F031PA21

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-343446
  
• 基板搬送部品および基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-295803   出願人：デュポン株式会社, フロロメカニック株式会社