特許
J-GLOBAL ID：200903015566907910
インクジェットヘッドの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三井 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-289183
公開番号（公開出願番号）：特開平6-134996
出願日： 1992年10月28日
公開日（公表日）： 1994年05月17日
要約：
【要約】【目的】インク滴を吐出させて記録を行うためのインクジェットヘッドの製造方法に関し、ノズル孔の径を均一に正確に形成することができるインクジェットヘッドの製造方法を提供することを目的とする。【構成】単結晶シリコンウェハ1に一方の面から異方性エッチング加工によって所定の形状寸法の凹部2を形成してノズル板3を形成し、インクに吐出圧力を加えるための圧力室5をインク供給路6に連通して凹状に形成して流路板4を形成し、上記ノズル板3と上記流路板4とを、上記凹部2が形成された側の面と上記圧力室5が形成された側の面とを向かい合わせて接合した後、上記ノズル板3を、上記凹部2が所定の径でノズル孔7として開口する厚さに上記接合面と反対側の表面側から研削して構成する。
請求項（抜粋）：
単結晶シリコンウェハ(1)に一方の面から異方性エッチング加工によって所定の形状寸法の凹部(2)を形成してノズル板(3)を形成し、インクに吐出圧力を加えるための圧力室(5)をインク供給路(6)に連通して凹状に形成して流路板(4)を形成し、上記ノズル板(3)と上記流路板(4)とを、上記凹部(2)が形成された側の面と上記圧力室(5)が形成された側の面とを向かい合わせて接合した後、上記ノズル板(3)を、上記凹部(2)が所定の径でノズル孔(7)として開口する厚さに上記接合面と反対側の表面側から研削することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
引用特許：
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