シラン類の製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-308864
公開番号（公開出願番号）：特開平9-142824
出願日： 1995年11月28日
公開日（公表日）： 1997年06月03日
要約：

【要約】【課題】珪素-マグネシウム合金とハロゲン化アンモニウムとを液体アンモニア中にて混練、反応させ、シラン類を製造する方法において、ジシランの収率を向上させるとともにジシランとモノシランの生成割合を任意にコントロールする方法を見出す。【解決手段】硅素とマグネシウムに第3成分としてさらに酸素、窒素及び珪素を除く平均粒径50μm以下の第 IIIB乃至IVB亜族の金属を含有させ、この粒度を50μm以下の範囲に於いて選んだ合金とハロゲン化アンモニウムとを液体アンモニア中にて混練、反応させる。【効果】ジシラン収率が向上し、且つ、第3成分として添加した金属の粒径を選ぶことにより、モノシラン、ジシランの生成割合を任意にコントロールすることができる。

請求項（抜粋）：

珪素とマグネシウムとから成る合金とハロゲン化アンモニウムとを液体アンモニア溶媒中にて混練し、シラン類を製造する方法において、該合金中に第3成分として酸素、窒素及び珪素を除く平均粒径50μm以下の第 IIIB乃至IVB亜族の金属を含有させることを特徴とするシラン類の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭62-056314
特開昭62-056314

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