特許

J-GLOBAL ID：200903015578703678

基板吸着装置

発明者： 林 貴人 ,  平戸 功二 ,  木下 斉 ,  城ヶ崎 修哉
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (3件)： 鈴江 武彦 ,  村松 貞男 ,  河野 哲
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2004006002
公開番号（公開出願番号）：WO2004-100254
出願日： 2004年04月26日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：

ハウジング1の開口部1b内のチューブ部材15上に、吸着部16aと少なくとも3点でハウジング1の開口部内壁の点接触する半球面状に湾曲した接触面部16cとを設けた吸着パッド16を載置し、この吸着パッド16と摺動部材9との間に細い糸24を張架した。

請求項（抜粋）：

中空状に形成され、一端側に開口部を有するハウジングと、 前記ハウジングの前記中空形状内に設けられ、かつエアーを吸引するエアー引き通路が設けられた吸着パッド支持部材と、 前記ハウジングの前記開口部から突出した状態で前記吸着パッド支持部材上に載置され、前記ハウジングの前記開口部に少なくとも3点で点接触して首振り可能で、前記エアー引き通路と気密に連通するエアー吸引孔が設けられた吸着パッドと、 前記吸着パッドを前記ハウジングの前記開口部に保持する吸着パッド保持手段と、 を具備したことを特徴とする基板吸着装置。

IPC (5件)：

H01L 21/677 ,  H01L 21/683 ,  B25J 15/06 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07

FI (7件)：

H01L21/68 A ,  H01L21/68 B ,  H01L21/68 P ,  B25J15/06 H ,  B25J15/06 N ,  B65G49/06 A ,  B65G49/07 G

Fターム (24件)：

3C007AS24 ,  3C007ES17 ,  3C007FS01 ,  3C007FT13 ,  3C007FT16 ,  3C007FT18 ,  3C007NS12 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031GA08 ,  5F031GA24 ,  5F031GA26 ,  5F031GA48 ,  5F031GA57 ,  5F031GA60 ,  5F031GA62 ,  5F031HA13 ,  5F031HA14 ,  5F031PA13 ,  5F031PA18 ,  5F031PA30