特許
J-GLOBAL ID：200903015587708674
走査型光誘起電流解析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-250931
公開番号（公開出願番号）：特開平8-255818
出願日： 1995年09月28日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：
【要約】【課題】 被測定試料の抵抗値や形状に制限されることなく高感度で配線中の空孔、欠陥等を検出することが可能な光誘起電流解析装置を提供する。【解決手段】 半導体集積回路配線6の一端は、たとえば接地電位に接続されており、その他端は電流アンプ10を介して上記接地電位と接続している。上記配線上でレーザ光が走査される場合、レーザ光が配線の熱伝導の悪い部分、たとえば、配線中にボイドのある部分に照射されると、配線中の温度部分に局所的な不均衡が生じる。この温度分布の不均衡により、配線中にゼーベック効果によって自己発生的な熱起電力が生じ、電流が誘起される。この誘起電流が、電流アンプ10により増幅され、画像情報変換装置12において、レーザ光の走査と同期した画像情報に変換されて出力される。
請求項（抜粋）：
集束したレーザ光を走査しながら照射することによって、被測定試料に誘起される光誘起電流を検出する走査型光誘起電流解析装置であって、前記レーザ光を発生するレーザ光源と、第1の制御信号に応じた領域内で前記レーザ光を走査する光束走査手段と、前記レーザ光を前記被測定試料上に集束させる光集束手段と、前記第1の制御信号を出力する制御手段と、前記被測定試料の両端と接続され、前記被測定試料を流れる電流を増幅し、その増幅した電流に対応する出力信号を出力する電流増幅手段と、前記被測定試料の一端と前記電流増幅手段との間に直列に接続された抵抗体と、前記レーザ光の走査に同期して前記電流増幅手段の出力信号を対応する画像情報に変換して出力する画像変換手段と、前記画像情報に応じた画像を出力する画像出力手段とを備える、走査型光誘起電流解析装置。
IPC (4件)：
H01L 21/66
, G01N 27/00
, G01N 37/00
, H01J 37/256
H01L 21/66 L
, G01N 27/00 Z
, G01N 37/00 H
, H01J 37/256
