特許

J-GLOBAL ID：200903015587871141

半導体素子のデュアル金属ゲート形成方法

発明者： 金 泰 均 ,  車 泰 昊 ,  李 政 ヨプ ,  張 世 億
出願人/特許権者： 株式会社ハイニックスセミコンダクター
代理人 (1件)： 特許業務法人共生国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-318490
公開番号（公開出願番号）：特開2002-198441
出願日： 2001年10月16日
公開日（公表日）： 2002年07月12日
要約：

【要約】【課題】 デュアル金属ゲート形成方法におけるエッチングレシピ設定の困難さを解決する。【解決手段】 PMOS/NMOS領域とダミーゲート60が形成された半導体基板の供給工程、層間絶縁膜30の形成工程、ダミーゲートの露出まで層間絶縁膜の研磨工程、第1の溝32aの形成工程、第1のゲート絶縁膜33と第1の金属膜34の形成工程、層間絶縁膜の露出まで第1の金属膜と第1のゲート絶縁膜とをエッチング、第1の溝内に第1の金属ゲート50aの形成工程、第2の溝32bの形成工程、第2のゲート絶縁膜35と第2の金属膜36との形成工程、層間絶縁膜の露出まで第2の金属膜と第2のゲート絶縁膜とをエッチング、第2の溝内に第2の金属ゲート50bの形成工程を含む。

請求項（抜粋）：

PMOS領域及びNMOS領域を有し、かつ、前記PMOSの領域及びNMOS領域各々上にダミーゲートが形成された半導体基板を供給する工程と、前記ダミーゲートを覆うように、前記半導体基板上に層間絶縁膜を形成する工程と、前記ダミーゲートが露出されるまで前記層間絶縁膜を研磨する工程と、前記PMOS領域とNMOS領域とに形成されたダミーゲートからいずれか一つを選択的に除去することによって第1の金属ゲート領域を特定する第1の溝を形成する工程と、前記第1の溝を含んだ半導体基板の全領域上に第1のゲート絶縁膜と第1の金属膜を順次形成する工程と、前記層間絶縁膜が露出されるまで前記第1の金属膜と第1のゲート絶縁膜とをエッチングして、前記第1の溝内に第1の金属ゲートを形成する工程と、残りのダミーゲートを除去することによって、第2の金属ゲート領域を特定する第2の溝を形成する工程と、前記第2の溝を含んだ半導体基板の全領域上に第2のゲート絶縁膜と第2の金属膜を順次形成する工程と、前記層間絶縁膜が露出されるまで前記第2の金属膜と第2のゲート絶縁膜とをエッチングして、前記第2の溝内に第2の金属ゲートを形成する工程とを含むことを特徴とする半導体素子のデュアル金属ゲート形成方法。

IPC (5件)：

H01L 21/8238 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 21/336 ,  H01L 27/092 ,  H01L 29/78

FI (4件)：

H01L 27/08 321 D ,  H01L 29/78 301 G ,  H01L 29/78 301 P ,  H01L 21/88 B

Fターム (75件)：

5F033HH08 ,  5F033HH18 ,  5F033HH19 ,  5F033HH20 ,  5F033HH21 ,  5F033HH32 ,  5F033HH33 ,  5F033HH34 ,  5F033MM01 ,  5F033PP06 ,  5F033PP09 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ28 ,  5F033QQ31 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ58 ,  5F033QQ59 ,  5F033QQ64 ,  5F033QQ65 ,  5F033QQ90 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033TT06 ,  5F033WW00 ,  5F033WW02 ,  5F033WW07 ,  5F033WW08 ,  5F033XX33 ,  5F033XX34 ,  5F048AB03 ,  5F048AC03 ,  5F048BA01 ,  5F048BB05 ,  5F048BB09 ,  5F048BB12 ,  5F048BC06 ,  5F048BE03 ,  5F048BG12 ,  5F048DA23 ,  5F140AA00 ,  5F140AA01 ,  5F140AA21 ,  5F140AA24 ,  5F140AB03 ,  5F140BA01 ,  5F140BC06 ,  5F140BD05 ,  5F140BD09 ,  5F140BD11 ,  5F140BE09 ,  5F140BF01 ,  5F140BF05 ,  5F140BF07 ,  5F140BF10 ,  5F140BF11 ,  5F140BF15 ,  5F140BF17 ,  5F140BG03 ,  5F140BG04 ,  5F140BG05 ,  5F140BG14 ,  5F140BG26 ,  5F140BG32 ,  5F140BG36 ,  5F140BG40 ,  5F140BG51 ,  5F140BH15 ,  5F140BK02 ,  5F140BK05 ,  5F140CB01 ,  5F140CB08 ,  5F140CE07