特許
J-GLOBAL ID：200903015592369110
オプチカル・モジュール
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
ソニー・テクトロニクス株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-156386
公開番号（公開出願番号）：特開平7-174826
出願日： 1994年06月16日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：
【要約】【目的】電気光学材料層を交換しても光学部品の位置関係を再調整する必要の無い特性測定システム用のオプチカル・モジュールを提供すること。【構成】測定ビームを用いて被測定デバイスの所定領域の特性を測定する特性測定システムの可動部品として、通常動作するオプチカル・モジュールを提供する。このモジュールは、被測定デバイスの特性変化に応じて屈折率が変化する材料を含み、該材料に上記測定ビームが照射され、該測定ビームと上記材料との相互作用により情報伝搬ビームを発生する測定手段27と、この測定手段からの情報伝搬ビームを受け、該情報伝搬ビームの光学的特性を表す測定信号を発生する測定光学系48とを具え、上記測定手段27及び上記測定光学系48は、互いに固定的接続され、測定動作中に上記オプチカル・モジュールが移動しても上記測定ビーム及び情報伝搬ビームの光伝搬経路の長さが変化しない。
請求項（抜粋）：
測定ビームを用いて被測定デバイスの所定領域の特性を測定する特性測定システムの可動部品として、通常動作するオプチカル・モジュールであって、上記被測定デバイスの特性変化に応じて屈折率が変化する材料を含み、該材料に上記測定ビームが照射され、該測定ビームと上記材料との相互作用により情報伝搬ビームを発生する測定手段と、上記情報伝搬ビームを受け、該情報伝搬ビームの光学的特性を表す測定信号を発生する測定光学系とを具え、上記測定手段及び上記測定光学系は、互いに固定的に接続され、測定動作中に上記オプチカル・モジュールが移動しても上記測定ビーム及び情報伝搬ビームの光伝搬経路の長さが変化しないことを特徴とするオプチカル・モジュール。
引用特許：
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