特許

J-GLOBAL ID：200903015594561727

ステージ装置

発明者： 上田 稔夫 ,  牧野内 進 ,  佐伯 和明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-042251
公開番号（公開出願番号）：特開平7-249564
出願日： 1994年03月14日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：

【要約】【目的】 移動ストロークの全範囲で所望の制御特性で位置決め動作を制御し、位置決め精度を向上する。【構成】 減算手段28から供給される目標位置xsと計測された座標x(k)との偏差より、積分手段30で制御量u2(k)が求められ、制御量u2(k)とゲイン乗算手段37からの制御量u1ij(k)との偏差よりなる制御量u(k)がX軸駆動系34に供給され、計測された座標x(k)及び制御量u(k)より状態観測手段38において求められる状態ベクトル〈χij(k)〉がゲイン乗算手段37に供給され、状態ベクトルとゲインベクトル〈Gij〉との内積が制御量u1ij(k)となる。目標位置xsに応じてモデルセレクタ39等を介して、状態観測手段38内の数値モデル等が変更される。

請求項（抜粋）：

位置決め対象物が載置される移動ステージと、該移動ステージを移動方向に駆動する駆動手段と、前記移動方向の前記移動ステージの位置を計測する位置計測手段とを有し、前記位置計測手段により計測された位置に基づいて前記駆動手段を介して前記移動ステージを駆動するステージ装置において、前記移動方向の前記移動ステージの位置決め範囲を分割して得られた複数の区間にそれぞれ対応させて、前記駆動手段を介して前記移動ステージを駆動する際の複数の状態方程式のモデルを記憶した記憶手段と;前記移動ステージの前記移動方向の目標位置を入力する目標位置入力手段と;前記記憶手段に記憶された前記複数の状態方程式のモデルから1つの状態方程式のモデルを読み出すモデル選択手段と;前記目標位置入力手段より入力された目標位置と前記位置計測手段により計測された位置との差分から、前記モデル選択手段により選択された状態方程式のモデルに応じて定められる補正量を減じて前記駆動手段の制御量を求め、該求めた制御量を前記駆動手段に供給する制御量算出手段と;を有することを特徴とするステージ装置。

IPC (6件)：

H01L 21/027 ,  B23Q 15/24 ,  G03F 9/00 ,  G05D 3/00 ,  G05D 3/12 305 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/30 503 A ,  H01L 21/30 515 G