特許
J-GLOBAL ID：200903015595222632
試料作製装置及び方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阿部 龍吉 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-001872
公開番号（公開出願番号）：特開平7-209155
出願日： 1994年01月13日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】 試料の研磨時の厚さを簡単に知ることができ、ディンプルグラインダーとイオンミリングにより試料を作製する。【構成】 透明の板4の上に試料2を貼り付け、該試料を凹面研磨するディンプルグラインダー1と、試料の下方に試料の研磨状態を観察する光学顕微鏡5〜7とを備えた。複数枚の基板上の薄膜を対向して貼り合わせ、スライスしたり、観察部位にマーカーを描きその上に透明部材のダミーを貼り付け、一定の幅で切り出し、半月状のメッシュに貼り付けたり、平板の上に線材を並べて固定し樹脂を注入して硬化させ、切り出して線材の中心部付近まで平面研磨したり、粉体を樹脂とを混合した後高圧圧縮して硬化させ、平板状に研磨し打ち抜いたりした後、ディンプルグラインダーによる研磨を行い、さらにイオンミリングを行う。
請求項（抜粋）：
透明の板の上に試料を貼り付け、該試料を凹面研磨するディンプルグラインダーと、試料の下方に試料の研磨状態を観察する光学顕微鏡とを備えたことを特徴とする試料作製装置。
IPC (2件)：
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