感光性樹脂組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野中克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-040383
公開番号（公開出願番号）：特開平7-228777
出願日： 1994年02月15日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：

【要約】【構成】末端に特定構造のアルコキシシランを有するポリアミド酸アミド100重量部に対して0.5〜15重量部の光照射により酸を発生する化合物を含有することからなる感光性樹脂組成物。【効果】良好な解像性を有し、体積収縮が小さく、基板との密着性に優れ、焼成によりポリイミドとすることができる感光性樹脂組成物が提供された。

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)【化1】で表されるテトラカルボン酸二無水物又は1モルのテトラカルボン酸二無水物に対し2モル以下の一般式(2)又は(3)【化2】【化3】で表されるモノアミンを付加した誘導体Aモル、一般式(4)【化4】で表されるジアミンBモル、及び一般式(5)【化5】で表されるアミノシリコン化合物Cモルを下記式(6)及び(7)【数1】【数2】の関係を成立させて得られるシリコン含有ポリイミド前駆体(ba)、該前駆体(ba)を更にモノアミンでアミド化したシリコン含有ポリアミド酸アミド(bb)からなる群から選ばれた少なくとも一種のポリアミド酸アミド、及び光照射により酸を発生する化合物を含有することからなる感光性樹脂組成物。{ただし、R1 はそれぞれ独立に炭素数4〜30個の4価の炭素環式芳香族基、複素環式基、脂環式基又は脂肪族基であり、R3はそれぞれ独立に炭素数2〜30個の2価の脂肪族基、脂環式基、芳香脂肪族基、炭素環式芳香族基、複素環式基又はシロキサン単位が100以下のポリシロキサン基であり、R4は式(8)、(9)、(10)又は(11)【化6】【化7】【化8】【化9】であり(ただし、ここにsは1〜4の整数を表す)、R5 は独立に炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基または炭素数7〜12のアルキル置換フェニル基を表し、Xは加水分解性のアルコキシル基を表し、1≦k≦3であり、R6は炭素数1〜8個の1価の有機基であり、R7は水素原子又は炭素数1〜7個の1価の有機基であり、R6とR7の炭素数の合計が8を超えず、R8は炭素数1〜8個の2価の有機基である}。

IPC (4件)：

C08L 79/08 LRB , C08G 73/10 NTF , G03F 7/038 504 , G03F 7/075 511

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭62-070423
特開昭62-070423
特開平3-140328

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