キャパシタおよびその製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-243782
公開番号（公開出願番号）：特開平10-092689
出願日： 1996年09月13日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】【課題】所望の容量に精度よく調整することができるキャパシタを簡便に提供する。【解決手段】導体(12、12)間に誘電体膜(13)を有するキャパシタにおいて、導体(12、12)間の容量をモニターしながら、キャパシタを構成する部分の誘電体膜(14)の結晶化度を選択的に変化させて、その部分の誘電体膜(14)とそれ以外の部分の誘電体膜(13)とで誘電率を変化させる。

請求項（抜粋）：

誘電体の対向する面の一部に形成された一対の導体を有するキャパシタにおいて、導体間でキャパシタを構成する部分の誘電体膜とそれ以外の部分の誘電体膜とが同一組成の材料からなり、キャパシタを構成する部分の誘電体膜がそれ以外の部分の誘電体膜の誘電率よりも小さいことを特徴とするキャパシタ。

IPC (2件)：

H01G 4/255 , H01G 4/18 324

FI (2件)：

H01G 4/34 , H01G 4/18 324 A

前のページに戻る