表面保護フィルム

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-176421
公開番号（公開出願番号）：特開平11-007121
出願日： 1997年06月17日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：

【要約】【課題】フォトレジストが付着せず、かつ、離型剤がレジストに転写しない表面保護フィルムを得る。【解決手段】透明支持体2上の一方の面にレジスト付着防止層1を設け、反対面に粘着層3を設けた表面保護フィルム4であって、前記レジスト付着防止層1はシロキサン結合を有する有機化合物から誘導される単位もしくはフッ素原子含有単量体から誘導される単位を枝成分に有するグラフトポリマーを含有する。

請求項（抜粋）：

透明支持体上の一方の面にレジスト付着防止層を設け、反対面に粘着層を設けた表面保護フィルムであって、前記レジスト付着防止層はシロキサン結合を有する有機化合物から誘導される単位もしくはフッ素原子含有単量体から誘導される単位を枝成分に有するグラフトポリマーを含有することを特徴とする表面保護フィルム。

IPC (2件)：

G03F 1/14 , H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 1/14 E , H01L 21/30 502 P

引用特許：

審査官引用 (8件)

フォトマスク保護用粘着フイルム
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-066082 出願人：積水化学工業株式会社
特開平2-269133
特開平2-269133

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