CCD検査装置及び検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-273310
公開番号（公開出願番号）：特開平11-094696
出願日： 1997年09月22日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：

【要約】【課題】色フィルタの塗りムラによる不良を精度よく検出することができるCCDの検査装置と検査方法とを提供する。【解決手段】色フィルタを備えた被検CCD1の各素子に、無色透明部3a、赤色のフィルタ部分3b、緑色のフィルタ部分3c、青色のフィルタ部分3dを有するフィルタから、少なくとも二種類のフィルタを通した光を照射し、両フィルタに対応する各画素の出力測定し、一方の出力を他方の出力で除算して、その最大値が予め決められた値を越える場合に当該CCDを不良とする。

請求項（抜粋）：

表面に色フィルタを構成したCCDを検査する装置であって、被検CCDを照明する白色光源と、該光源の分光特性を変化させるフィルタとを有することを特徴とするCCD検査装置。

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