特許
J-GLOBAL ID：200903015612766617
感光性有機・無機複合体組成物、その製造方法および該組成物からなるフォトレジスト
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-093200
公開番号（公開出願番号）：特開平8-262700
出願日： 1995年03月28日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：
【要約】【構成】 極性基含有有機ポリマー、感光剤、光硬化剤および加水分解重合性有機金属化合物を含有することを特徴とする感光性有機・無機複合体組成物。【効果】 有機化合物と無機化合物双方の特徴を合わせ持っており、透明性、耐熱性、耐候性、取扱い容易性、成形性などに優れ、特に感光性を有することから、画像形成用などに使用される印刷版、複写材料、フォトレジストなどの感光性材料、UVインキ、光硬化塗料、光接着剤などに使用することができる。
請求項（抜粋）：
極性基含有有機ポリマー、感光剤、光硬化剤および加水分解重合性有機金属化合物を含有することを特徴とする感光性有機・無機複合体組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503
, C08L101/00 LTB
, G03F 7/027
, G03F 7/032
, G03F 7/075 501
G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503
, C08L101/00 LTB
, G03F 7/027
, G03F 7/032
, G03F 7/075 501
