特許

J-GLOBAL ID：200903015613075570

透過電子顕微鏡用薄膜試料補強材

発明者： 星 亨 ,  下 村 順 一
出願人/特許権者： 川崎製鉄株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 望稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-088929
公開番号（公開出願番号）：特開平10-269978
出願日： 1997年03月24日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】材料分野における微小領域の構造評価に使用される透過電子顕微鏡の薄膜試料の作製において、試料を補強して、試料の割れ、破壊を防ぐことにより、薄膜試料の作製を容易にし、薄膜試料の観察部位の強度を向上させ、取り扱いを容易にする透過電子顕微鏡用薄膜試料補強材、および該補強材を用いた薄膜試料の作製方法の提供。【解決手段】円環状のリング部の内側に複数の開孔を持つメッシュ部を有する透過電子顕微鏡用薄膜試料補強材において、該複数の開孔に無機粒子を含む樹脂が充填されていることを特徴とする透過電子顕微鏡用薄膜試料補強材、および該補強材を用いた透過電子顕微鏡用試料作製方法。

請求項（抜粋）：

円環状のリング部の内側に複数の開孔を持つメッシュ部を有する透過電子顕微鏡用薄膜試料補強材において、該複数の開孔に無機粒子を含む樹脂が充填されていることを特徴とする透過電子顕微鏡用薄膜試料補強材。