特許
J-GLOBAL ID:200903015617316547
表面に微細な凹凸を有する膜、反射防止膜、それらの製造方法および光学部材
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
渡辺 徳廣
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-006760
公開番号(公開出願番号):特開2005-275372
出願日: 2005年01月13日
公開日(公表日): 2005年10月06日
要約:
【課題】表面の微小な凹凸構造を幅広く制御可能な、可視光に対して優れた反射防止効果を示す透明反射防止膜及びその製造方法を提供する。【解決手段】 アルミナを主成分とする微細な凹凸aと、前記微細な凹凸を支持する透明薄膜層bとを有する透明反射防止膜であって、前記透明薄膜層bはジルコニア、シリカ、チタニア、酸化亜鉛から選ばれた少なくとも1種を含有する透明反射防止膜。ジルコニウム、シリコン、チタニウムおよび亜鉛の化合物から選ばれた少なくとも1種の化合物とアルミニウム化合物を少なくとも含む塗布液を用いて製膜した多成分系膜を、温水処理する上記の透明反射防止膜の製造方法。【選択図】図2
請求項(抜粋):
アルミナを主成分とする微細な凹凸と、前記微細な凹凸を支持する薄膜層とを有する膜であって、前記薄膜層はジルコニア、シリカ、チタニア、酸化亜鉛から選ばれた少なくとも1種を含有することを特徴とする膜。
IPC (3件):
G02B1/11
, G02B26/10
, G03B21/00
FI (3件):
G02B1/10 A
, G02B26/10 F
, G03B21/00 D
Fターム (19件):
2H045CB00
, 2H045DA01
, 2H045DA41
, 2K009AA10
, 2K009AA12
, 2K009BB02
, 2K009BB12
, 2K009BB22
, 2K009CC03
, 2K009CC42
, 2K009CC45
, 2K009DD02
, 2K009DD06
, 2K103AA01
, 2K103AA11
, 2K103AA14
, 2K103AA16
, 2K103BC00
, 2K103CA12
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (9件)
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