特許

J-GLOBAL ID：200903015617335126

NF3の除害装置

発明者： 神保 隆志 ,  安武 剛 ,  原田 功
出願人/特許権者： 三井化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-057387
公開番号（公開出願番号）：特開平10-249164
出願日： 1997年03月12日
公開日（公表日）： 1998年09月22日
要約：

【要約】【課題】 NF3を安全、かつ効率的に処理する。【解決手段】 NF3を含むガスの導入口と還元性ガス発生装置、およびNF3を含むガスと還元性ガスを触媒の存在下に反応させNF3を除害するための反応器からなることを特徴とするNF3の除害装置。

請求項（抜粋）：

NF3を含むガスの導入口と還元性ガス発生装置、およびNF3を含むガスと還元性ガスを触媒の存在下に反応させNF3を除害するための反応器からなることを特徴とするNF3の除害装置。

IPC (3件)：

B01D 53/86 ZAB ,  B01D 53/54 ,  B01D 53/68

FI (3件)：

B01D 53/36 ZAB Z ,  B01D 53/34 128 ,  B01D 53/34 134 C

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-303524
  
• 窒素酸化物の除去方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-314552   出願人：株式会社豊田中央研究所
• 燃料電池
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-125224   出願人：東京瓦斯株式会社, 三菱重工業株式会社
• 特開平2-303524