特許
J-GLOBAL ID：200903015618600419
スキマーコーン
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅井 英雄 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-064379
公開番号（公開出願番号）：特開2000-260385
出願日： 1999年03月11日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：
【要約】【課題】イオンの流入効率、感度を向上できるスキマーコーンを提供する。【解決手段】プラズマ引き込み孔の直径Aは 1.3〜 1.5mmである。外壁面10は滑らかな曲線形状となるように切削されている。また、外壁面10の先端部分における角度πは60°以上となされている。更に、内壁面11は、プラズマ引き込み孔からイオンの進行方向に沿って体積が次第に増えるように、2段階のテーパ状となされている。このことによって、ジェット流は外壁面10に沿って滑らかに流れ、乱流を生じないので、スキマーコーンの高さを実質的に低くできる。また、スキマーコーンの内部の体積を従来より増加させることができる。そして、これらの相乗効果によって、イオンの流入効率、感度を向上させることができる。
請求項（抜粋）：
プラズマ引き込み孔の直径が 1.3mm以上であり、外壁面は滑らかな曲線形状となるように切削されてなり、外壁面の先端部分における角度は60°以上となされてなり、且つ内壁面はプラズマ引き込み孔からイオンの進行方向に沿って体積が次第に増えるように多段階のテーパ状となされてなることを特徴とするスキマーコーン。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 49/06
, G01N 27/62 G
