特許
J-GLOBAL ID：200903015635589410
MOCVD装置のバブラー交換方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河村 洌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-361099
公開番号（公開出願番号）：特開2001-176800
出願日： 1999年12月20日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：
【要約】【課題】 有機金属原料を入れたバブラーを交換する際に、配管内に酸素や水蒸気の付着を極力避け、交換後の半導体層の成長を速やかに行うことができると共に、製造する半導体発光素子の品質を安定させ、かつ、信頼性を向上させることができるMOCVD装置のバブラー交換方法を提供する。【解決手段】 チャンバーに接続される有機金属供給配管34および担体ガス供給配管38のバブラー4との接続部43、44の近傍に開閉自在のバルブ49、50をそれぞれ設け、そのバルブ49、50と前記接続部43、44との間を真空引きした後、たとえば乾燥チッ素N2などからなる不活性ガスを供給しながらバブラー4を接続部43、44から取り外して交換する。
請求項（抜粋）：
内部に有機金属原料を有し、担体ガス供給パイプから導入する担体ガスを前記有機金属原料内を通過させ、該担体ガスに有機金属化合物を含ませた有機金属材料を供給する有機金属供給パイプを有するバブラーを、チャンバーに接続された有機金属供給配管および担体ガス源に接続された担体ガス供給配管にそれぞれ前記有機金属供給パイプおよび担体ガス供給パイプを接続することにより取りつけるMOCVD装置の前記バブラーの交換方法であって、前記有機金属供給配管および前記担体ガス供給配管の前記接続する部分の近傍に開閉自在のバルブをそれぞれ設け、該バルブと前記接続する部分との間を真空引きした後、不活性ガスを供給しながら前記バブラーを前記接続する部分から取り外して交換することを特徴とするMOCVD装置のバブラー交換方法。
Fターム (3件)：
5F045AA04
, 5F045AC07
, 5F045EE03
