特許

J-GLOBAL ID：200903015642213728

高周波集積回路装置

発明者： 加藤 隆幸
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-048006
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258403
出願日： 1993年03月09日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：

【要約】【目的】 安価で容易に高い周波数まで測定可能な高周波集積回路装置を得ることを目的とする。【構成】 半導体基板1上に入力パッド3と接続されるように高周波信号変調器11を設ける。半導体基板1上に出力パッド4と接続される線路上に光学結晶13を設ける。低出力レーザ光線出力部14aから入力されるレーザ光線を高周波信号変調器11で電気信号に変調して機能回路ブロック2に入力する。低出力レーザ光線入出力部14bから出力されたレーザ光線を光学結晶13で反射し、反射したレーザ光線を低出力レーザ光線入出力部14bで受けてレーザ光線の偏光角の変化を分析する。【効果】 高価で消耗する高周波帯プローブヘッドを用いることなく、非接触で装置の高周波特性を測定することができる。

請求項（抜粋）：

基板上に形成され、高周波信号の処理を行う機能回路と、前記基板上に形成され、前記機能回路に接続され、前記機能回路で処理される前記高周波信号が入力する入力部と、前記基板上に形成され、前記機能回路に接続され、前記機能回路で処理された前記高周波信号を出力する出力部と、前記基板上に形成され、フォトダイオードを有し、外部から入力される光信号を電気信号に変換し、前記電気信号を直接あるいは所定の他の電気信号に重畳して高周波信号として前記入力部に対して出力する高周波信号変調手段と、を備える、高周波集積回路装置。

IPC (4件)：

G01R 31/28 ,  G01R 31/302 ,  H01L 21/66 ,  H01L 31/12

FI (2件)：

G01R 31/28 V ,  G01R 31/28 L