特許

J-GLOBAL ID：200903015645711079

真空管の排気装置

発明者： 井上 栄典 ,  市村 弘
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-230047
公開番号（公開出願番号）：特開平5-074351
出願日： 1991年09月10日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：

【要約】【目的】 排気ヘッドの排気管部の挿入作業が容易であると共に、排気工程の信頼性の向上を図る。【構成】 押圧環状部材8の排気管部1aの挿入穴8b及び回転ねじ締め金具9の排気管部1aの挿入穴9bは、挿入側に広がる形で傾斜面を有し、排気金具6の弾性部材支持部6cの開口部は、ポンプ側に広がる形で傾斜面を有している。

請求項（抜粋）：

真空管の排気管部を気密に固持する排気ヘッドと、この排気ヘッドに固持された排気管部を通して真空管内部を排気するポンプとを備え、前記排気ヘッドは、前記ポンプに接続された排気金具と、この排気金具の頭部内に配設された弾性部材と、この弾性部材上に配設された押圧環状部材と、前記排気金具に螺合され前記押圧環状部材を介して前記弾性部材を押圧する回転ねじ締め金具とからなる真空管の排気装置において、前記押圧環状部材の排気管部の挿入穴及び前記回転ねじ締め金具の排気管部の挿入穴は、挿入側に広がる形で傾斜面を有し、前記排気金具の弾性部材支持部の開口部は、ポンプ側に広がる形で傾斜面を有してなることを特徴とする真空管の排気装置。