特許
J-GLOBAL ID：200903015646220923
ウエハー位置およびオリエンテーシヨンフラツト方向検出方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-207567
公開番号（公開出願番号）：特開平5-029441
出願日： 1991年07月23日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：
【要約】【目的】 歩留まりとスループットの向上を図る。【構成】 3つのセンサ3,4,5より得られた信号を制御部11で演算処理するとともに、この演算結果に従って制御部11が、搬送中のウエハー1の位置およびオリエンテーションフラット方向を認識または予測する第1段階の処理と、この第1段階で得られた情報に基づき、搬送アーム2の停止位置およびウエハーチャック6を移動させるスライド機構10のスライド量を制御してウエハー1の中心とウエハーチャック6の中心を合せ込む第2段階の処理と、第1段階で得られた情報に基づきウエハー1を限定範囲内で粗回転させ、オリエンテーションフラット付近で正確なオリエンテーションフラット検出を行う第3段階の処理が順に行われるようにした。
請求項（抜粋）：
搬送機構により搬送されたウエハーをウエハーチャックに吸着させて回転させ、前記ウエハーのオリエンテーションフラット方向を光学式オリエンテーションフラット検出機構により検出する装置におけるウエハー位置およびオリエンテーションフラット方向検出方法において、前記ウエハーチャックを前記搬送機構に対してスライド移動させるスライド機構と、前記ウエハーの搬送通路上に配設した3個以上の非接触形のウエハー感知センサと、前記搬送中のウエハーが前記センサの位置を通過する際に得られた信号を演算処理して前記搬送機構と前記スライド機構および前記ウエハーチャックの回転をそれぞれ制御する制御部とを備え、前記制御部が、前記演算結果に基づいて、搬送中のウエハー位置およびオリエンテーションフラット方向を認識または予測する第1段階の処理と、この第1段階で得られた情報に基づき、前記搬送機構の停止位置および前記スライド機構のスライド量を制御し、前記ウエハーの中心と前記ウエハーチャックの中心を合せ込む第2段階の処理と、前記第1段階で得られた情報に基づき、前記ウエハーを限定範囲内で粗回転させ、オリエンテーションフラット付近で正確なオリエンテーションフラット方向の検出を行う第3段階の処理を順次行うようにしたことを特徴とするウエハー位置およびオリエンテーションフラット方向検出方法。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, G01B 11/00
, G01B 11/26
, H01L 21/66
