特許
J-GLOBAL ID：200903015658254874
高温超伝導素子およびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 洋二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-287018
公開番号（公開出願番号）：特開平10-135524
出願日： 1996年10月29日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【課題】 高温超伝導膜を用いたフィルタ素子において、給電部での金属電極のはがれを防止するとともに接触抵抗を低減する。【解決手段】 LaAlO3 基板1上には、Y1 Ba2 Cu3 Oy 組成の高温超伝導膜2がパターン形成されており、分布定数型のフィルタを構成している。ここで、素子本体部の高温超伝導膜2aはLaAlO3 基板1上に形成されて緻密な膜となっており、給電部の高温超伝導膜2bはMgO膜5上に形成されて空隙を多く有するポーラスな膜となっている。従って、給電部の高温超伝導膜2b上にAu電極3を形成した場合、空隙内にAu電極3が入り込んで接触面積が多くなり、Au電極3がはがれにくくなるとともに接触抵抗が小さくなる。
請求項（抜粋）：
基板(1)上に素子本体部と給電部を有するように高温超伝導膜(2)が形成され、前記給電部の高温超伝導膜(2b)上に金属電極(3)が形成されてなる高温超伝導素子において、前記給電部の高温超伝導膜(2b)は、前記素子本体部の高温超伝導膜(2a)より空隙が多い膜となっていることを特徴とする高温超伝導素子。
IPC (3件)：
H01L 39/00 ZAA
, H01L 39/24 ZAA
, H01P 1/203 ZAA
H01L 39/00 ZAA Z
, H01L 39/24 ZAA B
, H01P 1/203 ZAA
