特許

J-GLOBAL ID：200903015670713132

基板搬送装置

発明者： 池田 文彦 ,  北山 敦久
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-329639
公開番号（公開出願番号）：特開平10-167468
出願日： 1996年12月10日
公開日（公表日）： 1998年06月23日
要約：

【要約】【課題】 基板搬送時に基板の主面の部分的な乾燥を防止し、基板の主面から確実にパーティクルを除去することができると共に、基板の破損を防止することができる基板搬送装置を提供する。【解決手段】 この装置1は、角形の基板3の第1の辺S1に沿った外周縁近傍を支持する第1支持部材5と、基板3の第2の辺S2に沿った外周縁近傍を、第1支持部材5よりも低い高さ位置で支持する第2支持部材7と、基板3の第1および第2の辺S2に直交する第3および第4の辺S3,S4にそれぞれ沿った外周縁近傍を、第1支持部材5よりも低く、かつ第2支持部材7よりも高い高さ位置で支持する第3支持部材9および第4支持部材(図示せず)と、水平面に対して傾斜して支持された基板3の上側主面3aに、第1の辺S1側から純水を供給するリンスパイプ13とを含む基板保持部14、および基板保持部14を所定の方向に移動させる駆動機構15を備えて構成される。

請求項（抜粋）：

角形の基板の上側主面に所定の処理液を供給しつつ、基板を搬送する基板搬送装置において、基板を保持する基板保持部と、この基板保持部を所定の方向に移動させる移動手段とを備え、前記基板保持部が、基板の第1の辺に沿った外周縁近傍に当接して、基板を支持する第1支持手段と、基板の第1の辺と対向する第2の辺に沿った外周縁近傍に、第1支持手段が前記外周縁近傍に当接している高さ位置よりも低い高さ位置で当接して、基板を支持する第2支持手段と、第1支持手段および第2支持手段によって支持され、水平面に対して傾斜した基板の上側主面に、第1の辺側から前記所定の処理液を供給する処理液供給手段と、を備えることを特徴とする基板搬送装置。