特許
J-GLOBAL ID:200903015670811240

セラミックスサセプタの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 森 哲也 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-338587
公開番号(公開出願番号):特開2001-150425
出願日: 1999年11月29日
公開日(公表日): 2001年06月05日
要約:
【要約】【課題】 発熱体及び/又は電極を内蔵するセラミックスサセプタを高寸法精度、高歩留、低コストで製造する。【解決手段】 セラミックス原料を乾式プレス法で低圧成形した成形体1aに導体2を形成した後、成形体1a、1bを積層して乾式プレス法で高圧成形し、得られた積層成形体を脱脂・焼成する。
請求項(抜粋):
セラミックス原料を乾式プレス法で低圧成形した成形体に導体を形成した後、該成形体を積層して乾式プレス法で高圧成形し、得られた積層成形体を脱脂・焼成することを特徴とするセラミックスサセプタの製造方法。
IPC (2件):
B28B 11/00 ,  B28B 3/02
FI (2件):
B28B 3/02 J ,  B28B 11/00 Z
Fターム (14件):
4G054AA06 ,  4G054AA19 ,  4G054AB01 ,  4G054AC04 ,  4G054BA02 ,  4G054DA02 ,  4G054DA03 ,  4G055AA08 ,  4G055AB01 ,  4G055AC01 ,  4G055AC09 ,  4G055BA14 ,  4G055BA29 ,  4G055FA07

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