特許
J-GLOBAL ID：200903015674588596
硫化水素分析方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-251630
公開番号（公開出願番号）：特開平6-102181
出願日： 1992年09月21日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：
【要約】【構成】 試料ガスを、酸化防止剤を含む吸収液に接触せしめて該試料ガス中の硫化水素を吸収液に吸収させて捕集し、次いで硫化水素を捕集した吸収液を、測定元素をプラズマで励起した際に発生する硫黄の輝線スペクトルを分光分析して発光強度を測定するICPにより発光強度を測定する一方、既知濃度の硫化水素を含む標準ガスを該吸収液に流して所定濃度の硫化水素を吸収させた溶液をICPにより発光強度を測定して硫化水素検量線を作成し、この検量線から上記試料ガスの硫化水素濃度を測定する方法である。【効果】 従来法である炎光光度型ガスクロマトグラフ(FPD-GC)法のようにアルシンやホスフィンなどの分析における分析ピークの重なりが無く、アルシンやホスフィン中の極微量の硫化水素を高感度で測定することができる。
請求項（抜粋）：
試料ガスを、酸化防止剤を含む吸収液に接触せしめて該試料ガス中の硫化水素を吸収液に吸収させて捕集し、次いで硫化水素を捕集した吸収液を、測定元素をプラズマで励起した際に発生する硫黄の輝線スペクトルを分光分析して発光強度を測定する誘導結合高周波プラズマ分光分析装置により発光強度を測定する一方、既知濃度の硫化水素を含む標準ガスを該吸収液に流して所定濃度の硫化水素を吸収させた溶液を誘導結合高周波プラズマ分光分析法により発光強度を測定して硫化水素検量線を作成し、この検量線から上記試料ガスの硫化水素濃度を測定することを特徴とする硫化水素分析方法。
IPC (2件)：
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