特許

J-GLOBAL ID：200903015676563655

微小部X線分析装置

発明者： 土性 明秀
出願人/特許権者： 理学電機株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-216971
公開番号（公開出願番号）：特開平11-044662
出願日： 1997年07月29日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：

【要約】【課題】 二つのX線検出器の配置と試料ホルダーの構造とを工夫して、試料の微小部とX線ビームとの位置関係を最適に保ったまま、試料の微小部についてのX線回折測定と蛍光X線分析測定とを同時に実施する。【解決手段】 試料20の微小部22にコリメータ12を介してX線ビーム36を20〜30度の入射角度で入射する。測定中に試料20をφ軸26とω軸34の回りで回転させることで、X線照射領域に存在する結晶粒がいろいろな方向を向くようにする。φ回転は360度の角度範囲にわたる連続回転であり、ω回転は0〜90度の角度範囲での揺動回転である。回折X線は湾曲型の位置敏感型比例計数管16で検出し、蛍光X線は半導体検出器18で検出する。二つのX線検出器はどちらも、測定中は静止したままでよい。

請求項（抜粋）：

次の(イ)〜(ホ)を備える微小部X線分析装置。(イ)特性X線を含むX線ビームを発生するX線源。(ロ)試料とX線源の間に配置されて、試料の微小部にX線ビームを照射するコリメータ。(ハ)試料表面に対するX線ビームの入射角度を20〜30度の範囲内の一定の角度に保持した状態で、試料を二つの回転軸の回りに回転させることのできる試料ホルダー。(ニ)試料の前記微小部で回折した回折X線を検出するための位置敏感型の第1のX線検出器。(ホ)試料の前記微小部で発生した蛍光X線を検出するためのエネルギー分散方式の第2のX線検出器。

IPC (2件)：

G01N 23/20 ,  G01N 23/223

FI (2件)：

G01N 23/20 ,  G01N 23/223

引用特許：

審査官引用 (4件)

• X線複合分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-186714   出願人：株式会社日立製作所
• 特開昭54-074796
  
• 微小領域X線回折装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-019477   出願人：理学電機株式会社
• 特開昭54-074796