固体撮像素子及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-366318
公開番号（公開出願番号）：特開2004-200360
出願日： 2002年12月18日
公開日（公表日）： 2004年07月15日
要約：

【課題】赤外領域の光をカットする機能をもった固体撮像素子で、厚みのある赤外カットフィルタが不要な、集光性を改善し、反射光を低減させS/N比を改善し、画質を向上させた固体撮像素子、その製造方法を提供すること。【解決手段】マイクロレンズ39及び平坦化層34が赤外線吸収機能をもつこと。1)光電変換素子32上に赤外線吸収機能をもつ平坦化層34を形成する工程、2)カラーフィルタ層33を形成する工程、3)赤外線吸収層35を形成する工程、4)フォトリソグラフィ及び熱処理によってレンズ母型20を形成する工程、5)ドライエッチングを行い、赤外線吸収層へレンズ母型パターンを転写し、赤外線吸収層を赤外線吸収機能をもつマイクロレンズ39とする工程、を具備すること。【選択図】図9

請求項（抜粋）：

複数の光電変換素子上に、少なくとも平坦化層、カラーフィルタ層、略半球状のマイクロレンズが構成要素として順次に配設された固体撮像素子において、該略半球状のマイクロレンズ及び該平坦化層が赤外線吸収機能をもつことを特徴とする固体撮像素子。

IPC (5件)：

H01L27/14 , G02B3/00 , G02B5/20 , G02B5/22 , H04N5/335

FI (5件)：

H01L27/14 D , G02B3/00 A , G02B5/20 101 , G02B5/22 , H04N5/335 U

Fターム (34件)：

2H048BA02 , 2H048BA45 , 2H048BB02 , 2H048BB03 , 2H048BB10 , 2H048BB28 , 2H048BB33 , 2H048BB47 , 2H048CA09 , 2H048CA12 , 2H048CA13 , 2H048CA15 , 2H048CA19 , 2H048CA23 , 2H048CA24 , 2H048CA27 , 4M118AB01 , 4M118CA32 , 4M118CA34 , 4M118GB03 , 4M118GC07 , 4M118GC11 , 4M118GC17 , 4M118GD04 , 4M118GD07 , 5C024AX01 , 5C024CX03 , 5C024DX01 , 5C024EX43 , 5C024EX51 , 5C024GX07 , 5C024GY01 , 5C024GY31 , 5C024HX01

前のページに戻る