硬質炭素膜被覆部材

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-299367
公開番号（公開出願番号）：特開平7-149583
出願日： 1993年11月30日
公開日（公表日）： 1995年06月13日
要約：

【要約】【構成】所定の基板表面に硬質炭素膜を被覆してなり、硬質炭素膜を基体より剥離し、粉砕処理した粉砕物をラマン分光分析した時、1332±5cm-1に存在するダイヤモンドのピーク強度をI1 、1500±50cm-1に存在するグラファイトや非晶質カーボンの最大ピーク強度をI2 とした場合のI1 /I2 で表されるピーク強度比が0.6〜5.0の硬質炭素膜被覆部材を摺動部材などに使用する。【効果】優れた耐摩耗性および低摩擦係数を実現でき、摺動部材として適した硬質炭素膜被覆部材を提供することができる。

請求項（抜粋）：

所定の基板表面に硬質炭素膜を被覆してなる硬質炭素膜被覆部材において、前記硬質炭素膜を前記基体より剥離し、粉砕処理した粉砕物をラマン分光分析した時、1332±5cm-1に存在するダイヤモンドのピーク強度をI1 、1500±50cm-1に存在するピークの最大ピーク強度をI2 とした場合のI1 /I2 で表されるピーク強度比が0.6〜5.0であることを特徴とする硬質炭素膜被覆部材。

IPC (5件)：

C04B 41/87 , C23C 16/26 , C30B 29/04 , B23B 27/14 , F16C 33/24

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