特許
J-GLOBAL ID：200903015696689710

光学式変位計とそれを用いた粘性液体の塗布断面積の測定方法

発明者：
秋柴 雄二

秋柴 雄二 について


出願人/特許権者：
株式会社キーエンス

株式会社キーエンス について


代理人 (1件)： 松本 直己
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-019324
公開番号（公開出願番号）：特開2005-114708
出願日： 2004年01月28日
公開日（公表日）： 2005年04月28日
要約：
【課題】粘性液体の塗布断面積を光学式変位計で測定する際に、盛り上がり部分の斜面付近で変位データが正確に得られない場合でも、比較的正確な塗布断面積を測定できるようにする。【解決手段】対物レンズ15で集束した光を測定対象物16に投射し、その反射光を対物レンズ15及びピンホール17aを通して受光する。対物レンズ15を光軸方向に振動させると共にその位置を検出し、受光量が最大となるときの対物レンズ15の位置情報から測定対象物16の表面の変位を測定する。対物レンズ15の光軸と測定対象物16とを相対的に所定量ずつ移動させながら取得した測定対象物16の表面の変位データを記憶する変位データ記憶部41と、変位データによって規定される盛り上がり部分の最大値に対応する高さと幅を算出する高さ・幅算出部42と、高さと幅から盛り上がり部分の断面積を算出する断面積算出部43とを備えている。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
対物レンズで集束した光を測定対象物に投射し、前記測定対象物からの反射光を前記対物レンズ及びピンホールを通して受光し、前記対物レンズを光軸方向に振動させることによりその位置を検出し、受光量が最大となるときの前記対物レンズの位置情報から前記測定対象物の表面の変位を測定する光学式変位計であって、 前記対物レンズの光軸と前記測定対象物とを相対的に所定量ずつ移動させながら取得した測定対象物の表面の変位データを記憶する変位データ記憶部と、 前記変位データによって規定される盛り上がり部分の最大値に対応する高さと幅を算出する高さ・幅算出部と、 前記高さ・幅算出部で求められた盛り上がり部分の高さと幅から前記盛り上がり部分の断面積を算出する断面積算出部と、 前記変位データによって規定される盛り上がり部分を含む測定対象物の表面の断面輪郭及び前記断面積算出部によって算出された断面積を表示する表示部と を備えていることを特徴とする光学式変位計。
IPC (3件)：
G01B11/28 ,  G01B11/02 ,  G01C3/06
FI (3件)：
G01B11/28 Z ,  G01B11/02 Z ,  G01C3/06 P
Fターム (32件)：
2F065AA24 ,  2F065AA52 ,  2F065AA58 ,  2F065FF01 ,  2F065FF10 ,  2F065GG06 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL04 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065LL65 ,  2F065MM07 ,  2F065MM16 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ03 ,  2F065UU05 ,  2F112AB05 ,  2F112BA06 ,  2F112CA13 ,  2F112DA09 ,  2F112DA13 ,  2F112DA15 ,  2F112DA25 ,  2F112DA32 ,  2F112FA03 ,  2F112FA21 ,  2F112FA45 ,  2F112GA05
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (7件)
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