特許

J-GLOBAL ID：200903015701584930

ポーラス・シリコンおよびその製造方法

発明者： 趙 新為 ,  草野 淳一 ,  青柳 克信 ,  菅野 卓雄
出願人/特許権者： 理化学研究所
代理人 (1件)： 上島 淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-077695
公開番号（公開出願番号）：特開平6-268255
出願日： 1993年03月11日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：

【要約】【目的】発光の劣化を抑制したポーラス・シリコンおよびその製造方法を提供する。【構成】ポーラス・シリコンの表面のダングリング・ボンドが、水素、酸素および塩素で終端化されているものを含むようにした。また、シリコンをフッ酸を含有する化成液中で陽極化成するポーラス・シリコンの製造方法において、化成液に塩酸を添加するようにした。

請求項（抜粋）：

ポーラス・シリコンの表面のダングリング・ボンドが、水素、酸素および塩素で終端化されているものを含むポーラス・シリコン。

IPC (6件)：

H01L 33/00 ,  C01B 33/02 ,  C25D 11/32 ,  H01L 21/306 ,  C23F 1/24 ,  C25F 3/12