特許
J-GLOBAL ID：200903015701584930
ポーラス・シリコンおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上島 淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-077695
公開番号（公開出願番号）：特開平6-268255
出願日： 1993年03月11日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：
【要約】【目的】発光の劣化を抑制したポーラス・シリコンおよびその製造方法を提供する。【構成】ポーラス・シリコンの表面のダングリング・ボンドが、水素、酸素および塩素で終端化されているものを含むようにした。また、シリコンをフッ酸を含有する化成液中で陽極化成するポーラス・シリコンの製造方法において、化成液に塩酸を添加するようにした。
請求項（抜粋）：
ポーラス・シリコンの表面のダングリング・ボンドが、水素、酸素および塩素で終端化されているものを含むポーラス・シリコン。
IPC (6件)：
H01L 33/00
, C01B 33/02
, C25D 11/32
, H01L 21/306
, C23F 1/24
, C25F 3/12
