特許

J-GLOBAL ID：200903015708549781

共役ポリマーのプラズマ強化化学蒸着

発明者： アフィーニト,ジョン・ディー
出願人/特許権者： バッテル・メモリアル・インスティチュート
代理人 (1件)： 社本 一夫 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-587902
公開番号（公開出願番号）：特表2002-532576
出願日： 1999年12月15日
公開日（公表日）： 2002年10月02日
要約：

【要約】本発明の方法は、(a)蒸気を形成する共役物質を蒸気出口内でフラッシュ蒸発させて、(b)蒸気を、蒸気からグロー放電共役モノマープラズマを発生させるグロー放電電極に通過させて、(c)グロー放電共役モノマープラズマを基板上で寒冷凝結させて、基板上でグロー放電共役モノマープラズマを架橋させる各工程を含み、架橋が、グロー放電共役モノマープラズマ中に発生したラジカルから生じるものであり、自己硬化を達成することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板上に、共役物質のプラズマ強化化学蒸着によって、共役ポリマー層を生成させる方法であって、 (a)共役物質をフラッシュ蒸発ハウジング内に受け入れて、蒸発面上で共役物質を蒸発させて、蒸気出口を介して蒸気を排出させることにより、蒸気を作り、 (b)蒸気をグロー放電電極の近くに通過させて、蒸気からプラズマを作るためのグロー放電を発生させることにより、蒸気からモノマープラズマを作り、 (c)モノマープラズマを基板上で凝結させる各工程を含み、上記共役物質は、共役モノマー又は共役粒子と一緒の非共役モノマー又は共役粒子と一緒の共役モノマーであることを特徴とする方法。

IPC (4件)：

C08F 2/01 ,  C08F 2/52 ,  C08F 38/00 ,  C23C 14/12

FI (4件)：

C08F 2/01 ,  C08F 2/52 ,  C08F 38/00 ,  C23C 14/12

Fターム (20件)：

4J011DA06 ,  4J011DB01 ,  4J011DB18 ,  4J011DB22 ,  4J011MA20 ,  4J011MB05 ,  4J011QA44 ,  4J011UA05 ,  4J011VA03 ,  4J011WA10 ,  4J100AT05P ,  4J100BC43P ,  4J100CA01 ,  4J100FA17 ,  4J100FA22 ,  4J100FA47 ,  4K029BA62 ,  4K029CA01 ,  4K029CA12 ,  4K029DB06