特許

J-GLOBAL ID：200903015710752691

ベリリウム窓の金属基材への真空密シール方法

発明者： ヘイスベルス イアン コルネリス ,  ファン デ フェン アドリアヌス ヨハネス コルネリス
出願人/特許権者： フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-518506
公開番号（公開出願番号）：特表平9-509501
出願日： 1995年11月02日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】(25ミクロンと150ミクロンとの間の)薄いベリリウムX線窓(14)を金属基材(42)に真空密にシールする方法である。このシールは金属基材(42)とベリリウムX線窓(14)との間に丸い横断面の純度が高い(99.99%)のアルミニウムの環状プレフォーム(46)を押圧することによって実現する。その押圧には、平坦にされるアルミニウムの表面を横切って測定された50N/mm2程度の大きさの圧力を20秒間にわたり500°Cの温度で加える。

請求項（抜粋）：

薄いベリリウム窓(14)を金属基材(42)に真空密にシールするにあたり、 窓(14)と基材(42)との間の接触平面内に、この基材(42)と窓(14)との間にリング(46)の形状に設けたアルミニウムの中間層(48)を形成し、 その後、前記金属基材(42)、アルミニウムリング(46)、及び窓(14)から成る堆積体をアルミニウムが延性になるに十分な温度で、圧力を加えて圧縮することを特徴とするベリリウム窓の金属基材への真空密シール方法。

IPC (3件)：

G21K 5/00 ,  G01T 7/00 ,  H01J 35/18

FI (3件)：

G21K 5/00 W ,  G01T 7/00 A ,  H01J 35/18

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平2-258165